Анализатор инфракрасной спектроскопии с преобразованием Фурье (FTIR) используется в промышленности по производству полупроводников. FTIR — это прибор спектрального анализа, который использует инфракрасную спектроскопию для анализа концентрации примесей посредством преобразования Фурье. Спектрометр в основном состоит из источника света (кремниево-углеродный стержень, ртутная лампа высокого давления), интерферометра Майкельсона, детектора и интерферометра.
Инфракрасный свет, излучаемый источником S инфракрасного света, коллимируется в параллельный инфракрасный луч и поступает в интерференционную систему. После настройки интерферометром получается луч интерференционного света. Интерференционный свет проходит через образец Sa, чтобы получить интерференционный сигнал, содержащий спектральную информацию, который достигает детектора D и затем преобразуется в электрический сигнал с помощью D. Интерференционный сигнал здесь представляет собой функцию времени, которая представляет собой интерференционную картину, нарисованную интерференционным сигналом. , а его горизонтальная ось — время перемещения или расстояние движущегося зеркала. Эта интерференционная картина отправляется на компьютер через аналого-цифровой преобразователь, и компьютер выполняет быстрые вычисления преобразования Фурье для получения инфракрасного спектра с волновым числом на горизонтальной оси. Затем он отправляется на плоттер через цифро-аналоговый преобразователь, чтобы нарисовать очень знакомый стандартный инфракрасный спектр поглощения.
